椭偏仪
仪器名称: 光谱式椭偏仪
英文名: Spectroscopic Ellipsometer
仪器编号: 00184736
厂 家: J. A. Woollam Co., Inc.
仪器型号: M-2000Ⅴ
存放地点701-1220
购置时间: 2013年11月
技术指标:
光谱范围370nm到999nm;
全光谱所有数据点同时测量;最小数据采集时间约为20HZ;
全光谱典型数据采集时间1-5秒;
准直光束，光斑直径2-5mm;
主要功能用途:
探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构
应用包括光学镀膜和保护膜、聚合物、光刻材料、平面平板显示、计算机读写头以及半导体集成电路制造的研究开发。
